光刻机碳化硅吸盘开发成功

2022-12-30 14:27未知点击: 次

光刻机碳化硅吸盘是集成电路关键装备用的精密结构件，目前只有日本的 Kyocera、美国的 CoorsTek等少数国外公司能够制造满足光刻机使用要求的碳化硅吸盘。
我公司采用注模成型技术实现光刻机碳化硅吸盘的成型。注模成型技术是一种先进的成型工艺，是制备大尺寸、复杂形状陶瓷制品最有效的一种工艺技术。
目前我公司已经制备出尺寸 500×500mm的碳化硅吸盘，材料指标完全满足使用要求。我公司光刻机碳化硅吸盘最大优势在于，不同于胶粘碳化硅吸盘，我公司成功采用自研发钎料及钎焊工艺，实现了碳化硅吸盘的钎焊连接，此技术达到国外进口水平。